半導體晶圓制造設備專用KAYDON軸承

一、半導體零部件——半導體設備之基石

半導體精密零部件是半導體設備行業的基石。半導體零部件是指在材料、結構、工藝、 品質和精度、可靠性及穩定性等方面達到半導體設備及技術要求的零部件。上游原材料 包括鋁合金材料和部分非金屬原材料，下游應用則涵蓋了光刻、刻蝕、清洗、薄膜沉積 等半導體設備。鑒于半導體設備廠商往往為輕資產模式運營，其絕大部分關鍵核心技術 需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作為載體來實現，因此精密零部件對半導體 設備的性能至關重要。

半導體設備零部件參數高標準，工藝復雜。由于應用于可靠性要求非常高的半導體設 備中，零部件參數往往要兼顧精度、強度、潔凈度、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材 料純度等復合功能要求，生產工藝涉及精密機械制造、工程材料、表面處理特種工藝、 電子電機整合及工程設計等多個領域和學科，是半導體設備核心技術的直接保障。

半導體精密零部件種類眾多，市場較為分散。由于半導體設備技術工藝復雜、種類各 異，因此精密零部件的種類繁多，主要包括機械類中的金屬工藝件、結構件，電氣類， 機電一體類，氣體/液體/真空系統類，儀器儀表類，光學類等等，各個細分市場規模較 小，且不同零部件之間工作原理各異，導致碎片化特征較明顯。蔡司的用于 EUV 光刻機的空間成像測量系統（AIMS）就擁有 134 個供應商，4500 個系統部件，6.4 萬個 零部件。