KAYDON半導體零部件行業研究：市場規模大，品類眾多
1.零部件是半導體設備的核心，品類眾多，技術壁壘高
1.1.半導體零部件是決定半導體產業高質量發展的關鍵領域

半導體零部件是半導體設備行業的支撐：半導體設備是延續半導體行業“摩爾定律”的瓶 頸和關鍵，而半導體設備廠商絕大部分關鍵核心技術需要物化在精密零部件上，或以精密 零部件作為載體來實現。 半導體設備零部件在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩定性等性能方面達到了 半導體設備及技術要求，并具有高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特性， 生產工藝涉及精密機械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機整合及工程設計等 多個領域和學科，是半導體設備核心技術的直接保障。

半導體設備結構復雜，由成千上萬個零部件組成，零部件的性能、質量和精度都共同決定 著設備的可靠性與穩定性。半導體行業遵循“一代技術、一代工藝、一代設備”的產業規 律，而半導體設備的升級迭代很大程度上有賴于精密零部件的技術突破。各種半導體零部 件相互配合，共同支持半導體設備的運轉，比起其他行業設備的基礎零部件**技術特性 更為明顯，精度高、批量小、多品種、尺寸特殊、工藝復雜，還要兼顧強度、應變、抗腐 蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復合功能要求。

半導體精密零部件不僅是半導體設備制造環節中難度較大、技術含量較高的環節之一，也 是國內半導體設備企業“卡脖子”的環節之一。同樣一個部件，相較于傳統工業，半導體設備 關鍵零部件在原材料的純度、原材料批次的一致性、質量穩定性、機加精度控制、棱邊倒 角去毛刺、表面粗糙度控制、特殊表面處理、潔凈清洗、真空無塵包裝、交貨周期等方面 要求就更高，造成了極高的技術門檻。以半導體用過濾件為例，目前半導體級別濾芯的精 度要求達到 1 納米甚至以下，而在其他行業精度則要求在微米級。同時，為獲得超純的產 品清潔度、高度一致的質量和可重復高性能，半導體用過濾件對一致性、耐化學和耐熱性、 抗脫落性亦有較高的要求。
1.2.半導體設備由多個子系統組成，零部件數量龐大、種類繁多

各類半導體設備都可以分解成若干個模塊，由多個子系統組成。根據 VLSI 公司統計分類， 半導體設備由八大關鍵子系統組成：氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學 系統、電源及氣體反應系統、熱管理系統、晶圓傳送系統及其他關鍵組件。其中，真空系 統、電源系統是較為關鍵的子系統，成本占比均在 10%以上。前者主要包括各類閥、泵， 后者則以射頻電源等為主。
半導體零部件數量龐大、種類繁多，碎片化特征明顯。按照業內主流的零部件劃分方式， 半導體零部件可以劃分為機械類、電器類、機電一體類、氣體/液體/真空系統類、儀器儀表 類、光學類和其他零部件。機械類：應用于所有設備，起到構建整體框架、基礎結構、晶圓反應環境和實現零部 件特殊功能的作用，保證反應良率，延長設備使用壽命，對加工精度、耐腐蝕性、密 封性、潔凈度、真空度等指標有較高要求。電器類：應用于所有設備，起到控制電力、信號、工藝反應制程的作用，對輸出功率 的穩定性、電壓質量、波形質量、頻率質量等指標有較高要求。

機電一體類：在設備中起到實現晶圓裝載、傳輸、運動控制、溫度控制的作用，部分 產品包含機械類產品，對真空度、潔凈度、放氣率、 SEMI 定制標準等指標有較高要 求，還需要保證多次使用后的一致性和穩定性，不同具體產品要求差別較大。

氣體/液體/真空系統類：在設備中起到傳輸和控制特種氣體、液體和保持真空的作用。 其中，氣體輸送系統類對真空度、耐腐蝕性、潔凈度、SEMI 定制標準等指標有較高要 求，真空系統類對抽氣后的真空指標、可靠性、穩定性、一致性等指標有較高要求， 氣動液壓系統類對真空度、表面粗糙度、潔凈度、使用壽命、耐液體腐蝕等指標有較 高要求。儀器儀表類：應用于所有設備，起到控制和監控流量、壓力、真空度、溫度等數值的 作用，對量程時間、流量測量精度、溫度測量精度、壓力測量精度、溫度影響小等指 標有較高要求。光學類：主要應用于光刻設備、量測設備等，起到控制和傳輸光源的作用，對制造精 度、分辨率、曝光能力、光學誤差小等指標有較高要求。